ผลิตภัณฑ์ซอฟต์แวร์ Heller
- Heller 365 – Heller 365 เป็นแพ็คเกจซอฟต์แวร์ SPC และการตรวจสอบย้อนกลับใน 3 ระดับ:
- ระดับ 1 – (การตรวจสอบย้อนกลับ) รวมถึงการบันทึกการรันผลิตภัณฑ์ทั้งหมด พารามิเตอร์เตาอบ CpK
- ระดับ 2 – (การตรวจสอบโปรไฟล์แบบไม่ใช้เซ็นเซอร์) รวมการตรวจสอบโปรไฟล์ระดับ 1 บวกสำหรับแต่。
- ระดับ 3 – (การตรวจสอบโปรไฟล์ด้วย TC) รวมการตรวจสอบโปรไฟล์ระดับ 1 บวกสำหรับแต่ละบอร์ดโดยใช้แท่งเซ็นเซอร์เพิ่ม。
- อุตสาหกรรม 4.0 ที่สามารถรองรับ Heller Interface และ Heller Support ได้
- มาตรฐานอินเทอร์เฟซที่รองรับ
- IPC CFX
- Hermes
- SECS/GEM
- ASM
- iLNB
- Fuji Link
ระบบอัตโนมัติด้วย EFEM . ในตัว
Heller เสนอการรวม EFEM สำหรับการจัดการทั้งเวเฟอร์และแผงกระจกขนาดใหญ่ EFEM คู่และ EFEM เดี่ยว พร้อมตัวเลือกการกำหนดค่าสายพานลำเลียงกลับ。
