HCO N2-04 -เตาอบบ่มเฮลเลอร์
เตาอบบ่ม Heller HCO N2-04 ให้ผลผลิตสูงด้วยการประมวลผลแบบอินไลน์สำหรับการใช้งานแบบพาเนลที่มีความจุ 4 แมกกาซีน
- ขนาดเตาอบรวม (มม.): 5,670[ก] x 2,470[ล] x 2,210[ส]
- มีความจุ 4 แมกกาซีน ( 510×515 มม.)
- อุณหภูมิสูงสุดในการทำงาน: 200⁰ C
- สภาพแวดล้อมของไนโตรเจนที่มีระดับ O2 ต่ำถึง 100ppm
- ห้องคลีนรูม คลาส 1,000
- ระบบลำเลียงภายใน
- SECS/GEM
- ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ±3C
HCO N2-04 เตาอบบ่มบรรยากาศเฉื่อยพร้อมความจุ 4 แม็กกาซีน