เตาอบบ่มด้วยแรงดันอัตโนมัติเต็มรูปแบบ – PCO 1300

เตาอบบ่มด้วยแรงดันอัตโนมัติเต็มรูปแบบพร้อม EFEM 300 มม.。

• ขนาดเตาอบ (มม.): 2,200[ก] x 2,200[ล] x 2,475[ส]
• พื้นที่ใช้สอย (มม.): 560[ก] x 680[ล] x 480[ส]
• แรงดันใช้งานสูงสุด: 20 bar (290 psi)
• อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด: 260⁰ C
• เปิดใช้งานไนโตรเจน (ตัวเลือก)
• คลีนรูมคลาส 100 (ตัวเลือก)
• แรงดันใช้งานได้ถึง 5 Torr (ตัวเลือก)
• โหลดอัตโนมัติเต็มรูปแบบด้วย EFEM (เวเฟอร์ 300 มม.)