เตาอบบ่มแรงดัน – PCO 750
เตาอบบ่มแรงดัน Heller ใช้ห้องแรงดันเพื่อลดการเกิดโพรงอากาศ (Voiding) และเพิ่มความแข็งแรงในการยึดเกาะ
กระบวนการทำงานถูกทำให้ง่ายขึ้นโดยไม่จำเป็นต้องมีขั้นตอนก่อนการบ่มบางขั้นตอน เช่น การอบล่วงหน้าและกระบวนการพลาสมา
เตาอบ PCO ของ Heller สามารถติดตั้งห้องสุญญากาศเพิ่มเติมได้ เพื่อช่วยลดระยะเวลารวมของกระบวนการผลิต
ในขณะที่รักษาแรงดันคงที่ภายในห้อง อากาศ (หรือไนโตรเจน) จะถูกทำให้ร้อนด้วยโมดูลทำความร้อนแบบพาความร้อน
อากาศร้อนจะถูกส่งผ่านด้วยมอเตอร์พัดลมที่มีความน่าเชื่อถือสูง และหมุนเวียนอย่างต่อเนื่องภายในห้องแรงดัน
เพื่อให้ความร้อนสม่ำเสมอกับผลิตภัณฑ์
คุณสมบัติเด่น:
อุณหภูมิคงที่
กำจัดก๊าซพิษด้วยระบบสุญญากาศ
รองรับอุณหภูมิและแรงดันสูงสำหรับกระบวนการ TIM
ข้อมูลจำเพาะ
| ขนาดเตาอบ (W×L×H mm) | 1,700 x 2,420 x 1,997 |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) | 200 |
| แรงดันการทำงานสูงสุด (kgf/cm2) | 9.5 |
| ตัวเลือกสุญญากาศ (อุปกรณ์เสริม) | 0.1 / 10 / 100 torr + เงื่อนไขเวลา เช่น 760 torr → 10 torr / 5 นาที |
| คลีนรูม | รองรับ Class 10000 / 1000 / 100 |
| การรับรอง | SEMI S2/S8, ETL, CE, NEPA เป็นต้น |
วิดีโอ
