เตาอบบ่มด้วยแรงดันแบทช์แบบแมนนวล – PCO 500

โหลดด้วยตนเอง เตาอบบ่มด้วยแรงดันแบบแบทช์พร้อมตัวเลือกแผ่นความร้อนการนำไฟฟ้าสำหรับเวเฟอร์ 300 มม.。

• ขนาดเตาอบ (มม.): 1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H]
• พื้นที่ใช้สอย (มม.): 350[L] x 350[W] x 227[H]
• แรงดันใช้งานสูงสุด: 12 บาร์ (174 psi)
• อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด：
  • 200⁰ C (การพาอากาศแบบบังคับ)
  • 350⁰ C (ตัวเลือกแผ่นตัวนำ)
• กำลังโหลดด้วยตนเอง
• ตัวเลือก Chiller ภายนอก

แผ่นตัวนำที่เป็นอุปกรณ์เสริมภายในห้องแรงดัน。

ระบบไหลเวียนอากาศ (จากบนลงล่าง)