1808MK5-VR ประกอบด้วย 7 โซนการพาความร้อนและ 3 โซน IR โดยมีความยาวความร้อน 273 ซม. (107 นิ้ว) พร้อมพื้นที่พื้นน้อยที่สุด เวลาตอบสนองที่รวดเร็วและการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของกระบวนการ โดยไม่คำนึงถึงความหนาแน่นของส่วนประกอบหรือการโหลดบอร์ด ด้วยประสิทธิภาพโปรไฟล์ที่เหมือนกันทั้งในอากาศหรือไนโตรเจน。
ความยาวของเตาอบ | 465cm |
ตัวเลือกกระบวนการก๊าซ | อากาศ ไนโตรเจน กรดฟอร์มิก ก่อตัวเป็นก๊าซ |
โซนร้อน | การพาความร้อน: 7 ด้านบน / 7 ด้านล่าง IR: 3 ด้านบน |
ความยาวความร้อน (การพาความร้อน / รวม) | 174 cm / 273 cm |
โซนเย็น | 2 ด้านบน (ตัวเลือกด้านล่าง) |
อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด (การพาความร้อน / IR) |
มาตรฐาน: 350°C / 400°C, ตัวเลือก: 400°C / 480°C |
สูญญากาศขั้นต่ำ | มาตรฐาน: 10 Torr ตัวเลือก: < 10 Torr |
ขนาดกระดานสูงสุด | 500 มม. (ย) x 450 มม. (ก) x 29 มม. (ส) |
ตัวเลือกคลีนรูม | ลงชั้น1000 |